【機器人：公司半導體裝備業務擴展速度明顯】機器人接受機構調研時表示，2022年公司半導體潔淨機械手系列的部分型號產品已通過驗證並實現批量生產；部分新型產品實現了小批量驗證與交付；EFEM產品的核心部件實現了自主設計；真空傳輸平台也已初步實現了進口替代